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碳鍍膜機與高真空蒸發(fā)設(shè)備的區(qū)別

發(fā)布時間:2024-12-12 點擊量:88

碳鍍膜機與高真空蒸發(fā)設(shè)備的區(qū)別

碳鍍膜機主要分為僅有旋轉(zhuǎn)泵排氣的設(shè)備或配備渦輪泵的高真空蒸發(fā)設(shè)備。了解高真空蒸發(fā)設(shè)備性能的差異在選擇設(shè)備時非常有用。



旋轉(zhuǎn)泵排氣氣相沉積設(shè)備

VC-300S/W、VES-10
高真空抽真空沉積設(shè)備

VE-2013、VE-2050 等
真空排氣系統(tǒng)旋轉(zhuǎn)泵旋轉(zhuǎn)泵+渦輪分子泵
沉積真空度1-2(帕)5×10 -3 (Pa)以下
顆粒感
顆粒細(xì),但膜較粗。

顆粒細(xì)密,膜質(zhì)美觀。
膜質(zhì)量該薄膜粗糙且易碎,因為它在與殘余分子碰撞時積累。無殘留分子,顆粒呈直線飛行、粘附,膜質(zhì)潔凈、堅固。
環(huán)繞能力它在與殘余分子碰撞時向多個方向散射,因此具有一些環(huán)繞特性。顆粒沿直線飛行并粘附,但在陰影區(qū)域不形成薄膜。
使用碳?xì)庀喑练e的目的切片和支撐膜的加固、元素分析、高倍SEM觀察、FIB保護(hù)膜等。切片和支撐膜的強化、元素分析、高倍SEM觀察、FIB保護(hù)膜、碳支撐膜的制作、遮蔽法等。




























*碳鍍膜機是針對特定用途而設(shè)計的,其用途有限,但可以降低設(shè)備價格。

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該裝置是用于TEM、SEM、X射線分析等的碳膜生成裝置。用于防止樹脂嵌入樣品等的充電。 300W 用于創(chuàng)建特別厚的碳膜,例如 XMA 和 FIB 樣品的保護(hù)膜。

使用旋轉(zhuǎn)泵進(jìn)行碳沉積,同時使用皮拉尼真空計監(jiān)測真空水平。通過始終蒸發(fā)一定量的碳,可以實現(xiàn)高度可再現(xiàn)的碳沉積。

請使用專用補充裝SLC-30作為碳源。
300S有一對電極,300W有兩對電極。 300W 使您可以通過開關(guān)將涂層厚度增加一倍。
旋轉(zhuǎn)泵(RP)為外置落地式。請將其安裝在堅固的工作臺上,以免與RP的振動產(chǎn)生共振。無需水冷。

該產(chǎn)品是一套裝置,包括裝置本身、旋轉(zhuǎn)泵和 SUS 軟管。
需要親臨現(xiàn)場講解安裝和操作。

VC-300設(shè)備規(guī)格


物品規(guī)格
電源AC100V(單相100V 15A)
設(shè)備尺寸W255mm x D375mm
x H430mm 重量 18kg
旋轉(zhuǎn)泵排氣速度 50?/min (GLD-051)
重量 14.6kg
樣品室尺寸內(nèi)徑120mm x 高140mm
樣品臺尺寸Φ100mm
氣相沉積源-樣品臺距離45mm 至 75mm 可調(diào)
可安裝樣品尺寸Φ98mm,最大樣品高度40mm
氣相沉積電源排氣、蒸發(fā)。
每個固定電壓進(jìn)行 2 步切換,預(yù)設(shè)為最佳電壓
碳源專用補充型碳SLC-30












VC-300 耗材清單


專用碳
SLC-30
1箱(100個)

碳纖維
SLC-30
值 10 盒套裝

VC300玻璃鋼瓶包裝(2件1套)

VC300 玻璃腔體

如果夾緊彈簧和防塵板等零件出現(xiàn)劣化或損壞,我們還可以單獨制造它們。
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