用于半導體和硅的紅外輻射溫度計 IR-CAT 介紹
IR-CA系列是一款集成的固定式輻射溫度計,配備數字溫度顯示、參數設置功能和測量值的外部輸出。
共有低溫型、中高溫型、高性能型、超寬型等通用型以及按用途劃分的17個型號,兼容多種非接觸式測溫字段。
可測量400℃至1200℃硅片溫度的輻射溫度計。采用使晶圓不透明的測量波長,減少加熱器對背面的影響
一體化結構,內置數字溫度顯示和參數設置功能,可通過主機操作
精度高、響應快、可靠性高
可選配通訊接口 RS-485 (MODBUS)
提供設置顯示,用于 IR-CA 的遠程監(jiān)控和遠程設置。
可通過RS-485通訊進行設置和顯示。
準備數據記錄軟件
可選配保護殼、水冷板等配件,以適應安裝環(huán)境。
模型 | 用于半導體/硅 |
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格式 | 紅外貓 |
檢測元件 | 硅 |
測量波長 | 0.6~0.96μm |
測量溫度范圍 | 400-800℃ (100) 500-1000℃ (200) 600-1200℃ (200) |
準確率評估 | 200℃以下:±2℃ 200℃以上:測量值的±1% |
再現性 | 0.5℃以內 |
解決 | 0.5℃ |
響應時間 | 0.04秒(95%) |
測量直徑/測量距離 | 可移動焦點 測量距離:0.5m 至 ∞ 測量 直徑 = 測量距離/距離系數 距離系數:100、200 |
瞄準 | 直接取景器 |
輸出信號 | 4~20mA DC,隔離輸出(無電阻500Ω以下) |
通訊接口 | RS-485(可選) |
電源 | 24V直流 |
能量消耗 | 最大10VA |
外形尺寸 | 寬150x高110x深66mm |
大量的 | 約1.3公斤 |
其他的 | 數據處理軟件:IR-VXC1 |