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TEAC稱(chēng)重傳感器用于半導(dǎo)體/FPD制造工藝的產(chǎn)品介紹

發(fā)布時(shí)間：2023-09-22　點(diǎn)擊量：645

TEAC稱(chēng)重傳感器用于半導(dǎo)體/FPD制造工藝的產(chǎn)品介紹

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拉錠

多晶在石英坩堝中熔化，并在旋轉(zhuǎn)籽晶棒的同時(shí)進(jìn)行拉晶，
以形成單晶棒（使用 CZ 法拉晶錠）。

拉力機(jī)用稱(chēng)重傳感器 TT-XNⅡ / TT-XNⅡ(G)
拉力機(jī)用稱(chēng)重傳感器
TT-XNⅡ / TT-XNⅡ(G)

  • 單晶生長(zhǎng)稱(chēng)重傳感器

  • 能夠測(cè)量微小負(fù)載的兩級(jí)式

  • 抗噪音及過(guò)載保護(hù)功能

拉力機(jī) TT-XNS / TT-XNS(G) 稱(chēng)重傳感器
拉力機(jī)
TT-XNS / TT-XNS(G)稱(chēng)重傳感器

  • 單晶生長(zhǎng)稱(chēng)重傳感器

  • 過(guò)載保護(hù)

拉伸/壓縮型稱(chēng)重傳感器 TU-PGRH□□N/KN-G
拉伸/壓縮型稱(chēng)重傳感器
TU-PGRH□□N/KN-G

  • 用于拉制大直徑硅片

  • 超高精度

拉伸/壓縮型稱(chēng)重傳感器 TU-PGRS□□N/KN-G
拉伸/壓縮型稱(chēng)重傳感器
TU-PGRS□□N/KN-G

  • 用于拉制大直徑硅片

  • 高精準(zhǔn)度

切割錠


晶圓是通過(guò)使用金剛石刀片將錠切割至定厚度而制成的。

負(fù)載測(cè)功機(jī)/稱(chēng)重傳感器
負(fù)載測(cè)功機(jī)/稱(chēng)重傳感器


數(shù)顯指示器TD-700T
數(shù)顯指示器
TD-700T

  • 標(biāo)準(zhǔn)型

  • 各種保持功能

  • CC-Link

數(shù)顯指示器TD-9000T
符合 TEDS 標(biāo)準(zhǔn)的彩色圖形
按壓/壓裝數(shù)字指示器
TD-9000T

  • 多功能型

  • 支持 2 個(gè)輸入：稱(chēng)重傳感器 + 位移

  • 以太網(wǎng)/IP

稱(chēng)重傳感器信號(hào)調(diào)節(jié)器TD-SC1
稱(chēng)重
傳感器信號(hào)調(diào)節(jié)器
TD-SC1

  • 內(nèi)置型

  • 豐富的網(wǎng)絡(luò)
    （EtherNet/IP?CC-Link?RS-485）

  • 通過(guò)PC設(shè)置/監(jiān)控

晶圓拋光

研磨并拋光晶圓表面。

拉伸/壓縮型稱(chēng)重傳感器 TU-NR-C□□KN-G
拉伸/壓縮型稱(chēng)重傳感器
TU-NR-C□□KN-G

  • 薄型氣密結(jié)構(gòu)、緊湊、輕量、
    連接器式

拉伸/壓縮型稱(chēng)重傳感器 TU-GR ? KN-G
拉伸/壓縮型稱(chēng)重傳感器
TU-GR ? KN-G

  • 薄型、剪切型、中心孔型

  • 抗偏心/抗疲勞

數(shù)顯指示器TD-700T
數(shù)顯指示器
TD-700T

  • 標(biāo)準(zhǔn)型

  • 各種保持功能

  • CC-Link

數(shù)顯指示器TD-9000T
符合 TEDS 標(biāo)準(zhǔn)的彩色圖形
按壓/壓裝數(shù)字指示器
TD-9000T

  • 多功能型

  • 支持 2 個(gè)輸入：稱(chēng)重傳感器 + 位移

  • 以太網(wǎng)/IP

晶圓平坦化 (CMP)

晶圓的表面經(jīng)過(guò)研磨和拋光，以平整任何不平整的地方。

拉伸/壓縮型稱(chēng)重傳感器 TC-NSRSP(T)□□N-G3
拉伸/壓縮型稱(chēng)重傳感器
TC-NSRSP(T)□□N-G3

  • 采用耐彎曲的機(jī)器人電纜

  • 通過(guò)使用濺射儀
    實(shí)現(xiàn)高響應(yīng)和高穩(wěn)定性。

數(shù)顯指示器TD-700T
數(shù)顯指示器
TD-700T

  • 標(biāo)準(zhǔn)型

  • 各種保持功能

  • CC-Link

數(shù)顯指示器TD-9000T
符合 TEDS 標(biāo)準(zhǔn)的彩色圖形
按壓/壓裝數(shù)字指示器
TD-9000T

  • 多功能型

  • 支持 2 個(gè)輸入：稱(chēng)重傳感器 + 位移

  • 以太網(wǎng)/IP

稱(chēng)重傳感器信號(hào)調(diào)節(jié)器TD-SC1
稱(chēng)重
傳感器信號(hào)調(diào)節(jié)器
TD-SC1

  • 內(nèi)置型

  • 豐富的網(wǎng)絡(luò)
    （EtherNet/IP?CC-Link?RS-485）

  • 通過(guò)PC設(shè)置/監(jiān)控