薄膜和微小區(qū)域的熱導(dǎo)率如何進(jìn)行測量?
發(fā)布時間:2020-11-25 點擊量:1163
薄膜和微小區(qū)域的熱導(dǎo)率如何進(jìn)行測量?-日本hrd-thermal熱顯微鏡TM3
用于測量薄膜和微小區(qū)域的熱導(dǎo)率
特性
- 熱物理性質(zhì)顯微鏡是測量熱滲透率的裝置,熱滲透率是熱物理性質(zhì)值之一。
- 它是一種可以通過點,線和表面來測量樣品的熱性能的設(shè)備。
- 也可以測量微米級的熱物理性質(zhì)值的分布,這在常規(guī)熱物理性質(zhì)測量設(shè)備中被認(rèn)為是困難的。
- 它是*yi款能夠進(jìn)行非接觸式高分辨率熱性能測量的設(shè)備。
- 利用檢測到的3μm的光斑直徑,可以在高分辨率的微小區(qū)域中測量熱物理性質(zhì)(點/線/表面測量)。
- 由于可以通過改變深度范圍進(jìn)行測量,因此可以測量從薄膜/多層膜到塊狀材料。
- 您也可以測量基材上的樣品。
- 激光非接觸式測量。
- 可以檢測薄膜下的裂縫,空隙和剝離。
熱物理顯微鏡的測量原理(概述)
在樣品上形成金屬薄膜,并用加熱激光器定期加熱。
- 由于金屬的反射率具有根據(jù)表面溫度而變化的性質(zhì)(熱解法),因此通過捕捉與加熱激光器同軸地照射的檢測激光器的反射強(qiáng)度的變化,來測量表面的相對溫度變化。去做。
- 熱量從金屬薄膜傳播到樣品,導(dǎo)致表面溫度響應(yīng)的相位延遲。該相位延遲取決于樣品的熱性質(zhì)。通過測量加熱光和檢測光之間的相位延遲來獲得熱滲透率。
主要規(guī)格
名稱/產(chǎn)品名稱 | 熱物理顯微鏡/熱顯微鏡 |
測量方式 | 熱物理性質(zhì)分布測量(1維,2維,1點) |
測量項目 | 熱滲透率,(熱擴(kuò)散率),(熱導(dǎo)率) |
檢測光斑直徑 | 約3μm |
1點測量標(biāo)準(zhǔn)時間 | 10秒 |
待測薄膜 | 厚度從幾百納米到幾十微米 |
重復(fù)精度 | 耐熱玻璃,硅的熱滲透率小于±10% |
樣品 | 1.樣品架30mm x 30mm厚度5mm 2.板狀樣品30mm x 30mm以內(nèi),厚度3mm以內(nèi) - 需要對樣品表面進(jìn)行鏡面拋光。
- 樣品表面需要進(jìn)行Mo濺射。
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工作溫度極限 | 24°C±1°C(根據(jù)設(shè)備中內(nèi)置的溫度傳感器) |
平臺移動距離 | ? X軸方向20mm ? Y軸方向20mm ? Z軸方向10mm |
加熱激光 | 半導(dǎo)體激光波長:808nm |
檢測激光 | 半導(dǎo)體激光波長:658nm |
電源 | 交流100V 1.5kVA |
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 樣品架,參考樣品 |
選項 | 光學(xué)壓盤,空調(diào),空調(diào)房,飛濺裝置 |