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日本ace適用于半導(dǎo)體制造工藝的壓力控制器

日本ace適用于半導(dǎo)體制造工藝的壓力控制器

產(chǎn)品型號(hào)： AP250 / AP500

所屬分類：壓力控制器

產(chǎn)品時(shí)間：2024-09-10

簡(jiǎn)要描述：日本ace適用于半導(dǎo)體制造工藝的壓力控制器AP250 / AP500
AP250和AP500是適用于半導(dǎo)體制造工藝等中使用的清潔氣體壓力控制的大流量型控制器，由氣壓控制單元（相當(dāng)于AP100N）和圓頂型調(diào)節(jié)器單元組成。

詳細(xì)說明：

日本ace適用于半導(dǎo)體制造工藝的壓力控制器AP250 / AP500

 

AP250和AP500是適用于半導(dǎo)體制造工藝等中使用的清潔氣體壓力控制的大流量型控制器，由氣壓控制單元（相當(dāng)于AP100N）和圓頂型調(diào)節(jié)器單元組成。

 

　此外，外部安裝有壓力傳感器，來自傳感器的信號(hào)輸入到氣壓控制單元，氣壓控制組的閥被開/關(guān)控制，以調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)器中球罩的內(nèi)部壓力自動(dòng)調(diào)節(jié)以匹配任何設(shè)定的壓力值。通過將流量傳感器安裝到外部，它也可以用作流量控制器。

 

　AP250的最大控制流量為5001 / min，AP500的最大控制流量為2000L / min，兩種類型的最大控制壓力約為600kPa。

 

　壓力接頭與適用于AP250的1/2“ VCR和適用于AP500的3/4” SWAG等效或等同于用于AP500的3/4“ VCR等效。適用于真空清潔氣體，用于導(dǎo)體，惰性氣體，腐蝕性氣體，危險(xiǎn)氣體等可以使用。

日本ace適用于半導(dǎo)體制造工藝的壓力控制器AP250 / AP500

規(guī)格

模型AP250AP500
主要用途對(duì)于FPD，燃料電池對(duì)于FPD，燃料電池
目標(biāo)氣體N2，空氣，H2等N2，空氣，H2等
入口壓力999kPa以下999kPa以下
耐壓小于1500kPa小于1500kPa
壓力設(shè)定用顯示設(shè)定裝置設(shè)定用顯示設(shè)定裝置設(shè)定
控制方式圓頂內(nèi)部的氣動(dòng)控制圓頂內(nèi)部的氣動(dòng)控制
控制壓力0-500kPa0-500kPa
最大流量500L /分鐘2000L /分鐘
響應(yīng)時(shí)間1秒鐘達(dá)到設(shè)定值1秒鐘達(dá)到設(shè)定值
輸入信號(hào)0-5 VDC連續(xù)/關(guān)閉0-5 VDC連續(xù)/關(guān)閉
RS485RS485
外部傳感器輸入（4至20mA標(biāo)準(zhǔn)）（4至20mA標(biāo)準(zhǔn)）
輸出信號(hào)報(bào)警輸出，RS485報(bào)警輸出，RS485
管件相當(dāng)于1/2英寸的VCR或相當(dāng)于1/2英寸的世偉洛克相當(dāng)于3/4英寸的VCR或相當(dāng)于3/4英寸的世偉洛克
閥座泄漏10-5Pa ? m3 /秒以下10-5Pa ? m3 /秒以下
準(zhǔn)確性取決于壓力傳感器的規(guī)格取決于壓力傳感器的規(guī)格
電源電壓24VDC±10％24VDC±10％
目前的消費(fèi)200mA以下200mA以下
工作溫度0-50℃無凝結(jié)0-50℃無凝結(jié)
面之間的外部尺寸寬70×深145×高124mm寬80×深178×高170mm
壓力傳感器無（外部）無（外部）
顯示設(shè)定裝置是（可以單獨(dú)安裝）是（可以單獨(dú)安裝）


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