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日本東麗toray半導體，電子元件氧氣分析儀

日本東麗toray半導體，電子元件氧氣分析儀

產(chǎn)品型號： MS-500

所屬分類：氧氣

產(chǎn)品時間：2024-09-06

簡要描述：日本東麗toray半導體，電子元件氧氣分析儀MS-500
多可同時測量8個點
濃度顯示范圍很廣，從ppm到100％。
非常適合安裝在半導體制造設(shè)備，真空設(shè)備等上。
傳感器為直接插入型（用于真空16/25/40的NW法蘭）
具有特殊涂層的高度耐用的傳感器，可進一步提高耐用性

詳細說明：

日本東麗toray半導體，電子元件氧氣分析儀MS-500

 

氧氣分析儀MS-500

  • 多可同時測量8個點
  • 濃度顯示范圍很廣，從ppm到100％。
  • 非常適合安裝在半導體制造設(shè)備，真空設(shè)備等上。
  • 傳感器為直接插入型（用于真空16/25/40的NW法蘭）
  • 具有特殊涂層的高度耐用的傳感器，可進一步提高耐用性

日本東麗toray半導體，電子元件氧氣分析儀MS-500

MS-500設(shè)備規(guī)格

測量原理氧化鋯濃縮池類型
形狀分體式（轉(zhuǎn)換器：壁掛式，傳感器：直接插入式）
顯示方式4位數(shù)字顯示（密度顯示）
測量范圍0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol％O 2　10 -20至10 -0 atm
自動量程
重復性在±0.5％FS 0-1％范圍內(nèi)或更高
±1％FS或±
0.1ppm中，以較大者為準小于0-1％范圍0-1ppm，atm范圍超出保證的濃度范圍
測量點數(shù)1?8
樣氣條件壓力10 -3至200 KPa（壓力）
流量0.5至5,000 mL / min或0 mL / min（自發(fā)擴散狀態(tài)的測量）
濕度露點低于環(huán)境溫度
溫度0-100°攝氏度
其他請勿包含腐蝕性氣體（氟氣，氯氣，硫化物氣等），含有機硅的氣體，可燃成分（包括氣體），油和水。
比較氣大氣層
記錄儀輸出僅變速箱輸出
變速箱輸出RS-232C
報警輸出沒有
熱身時間6分鐘以內(nèi)
尺寸MS-500（控制器）92（W）×44（H）×120（D）（不包括突起）
MS-510（轉(zhuǎn)換器）100（W）×40（H）×88（D）（不包括突起）
傳感器單元SD16NW總長100mm（感應部分Φ11×39，主體部分Φ40×51）
SD25NW總長100 mm（感應部分Φ11×42，主體部分Φ40×48）
SD40NW總長100mm（感應部分Φ11×41，主體部分Φ40×49）
大眾MS-500（控制器）約0.6Kg
MS-510（轉(zhuǎn)換器）約0.5kg
傳感器單元SD16NW約0.2Kg
SD25NW約0.2Kg
SD40NW約0.35Kg
外部連接真空法蘭之一（NW16、25、40）
使用電源24VDC±10％


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